Hauv lub ntiaj teb ntawm lub tshuab nqus tsev, turbo twj thiab cryopumps yog ob qho ntawm cov khoom siv feem ntau siv rau kev ua tiav thiab tswj xyuas lub tshuab nqus tsev siab. Thaum ob lub twj tso kua mis ua haujlwm zoo sib xws, muaj qhov sib txawv tseem ceeb hauv lawv cov qauv tsim, kev ua haujlwm, thiab cov chaw siv. Tsab ntawv xov xwm no tsom mus rau delve rau hauv cov kev sib txawv no, muab kev nkag siab zoo ntawm turbo twj thiab cryopumps.
Turbo twj, tseem hu ua molecular twj, ua haujlwm ntawm lub hauv paus ntsiab lus ntawm lub zog hloov. Lawv muaj ib tug series ntawm ceev ceev rotating disks los yog lub log uas sib tsoo nrog roj molecules, hloov lawv lub zog mus rau cov roj thiab ejecting nws los ntawm lub tshuab nqus tsev chamber. Cov txheej txheem no rov ua dua ntau zaus thaum cov roj molecules hla mus rau ntau theem ntawm lub twj tso kua mis turbo, nws thiaj li khiav tawm ntawm lub chamber.
Ntawm qhov tod tes, cryopumps ua haujlwm los ntawm condensing lossis adsorbing roj molecules ntawm qhov chaw txias. Lub cryopump feem ntau muaj tus ntiv tes txias lossis qhov chaw cryogenic txias rau qhov kub thiab txias, feem ntau qis dua -150 degree . Raws li cov roj molecules nkag mus rau hauv lub cryopump, lawv tau adsorbed rau ntawm qhov chaw txias, tshem tawm lawv los ntawm lub tshuab nqus tsev chamber.
Turbo twj tso kua mis ua tau zoo ntawm kev tuav cov roj ntim loj thiab tshwj xeeb tshaj yog zoo nyob rau hauv thawj theem ntawm lub tshuab nqus tsev tsim. Lawv tuaj yeem khiav tawm ntawm chav tsev sai sai, txo qhov siab mus rau qee qib. Txawm li cas los xij, turbo twj tso kua mis muaj kev txwv thaum nws los txog rau kev ua tiav lub tshuab nqus tsev siab. Cov roj seem uas tuaj yeem ua tiav yog txwv los ntawm lub peev xwm ntawm lub twj tso kua mis los tiv thaiv rov qab cov roj molecules los ntawm lub twj tso kua mis sab hauv.
Cryopumps, ntawm qhov tod tes, ua tau zoo ntawm kev tswj hwm lub tshuab nqus tsev siab. Lawv muaj peev xwm adsorbing ntau yam ntawm cov roj molecules, nrog rau cov uas tsis tshua muaj vapor pressures, ua rau lawv zoo tagnrho rau kev ua tiav siab nqus tsev vacuum. Cryopumps kuj muaj qhov zoo ntawm kev muaj peev xwm rov tsim kho lawv qhov chaw adsorption, tso cov pa roj molecules thiab rov kho lawv lub peev xwm adsorption.
Turbo twj tso kua mis feem ntau yog siv rau hauv cov ntawv thov uas yuav tsum tau khiav tawm ntawm cov pa loj, xws li hauv lub tshuab nqus tsev, txheej chav, thiab qee yam ntawm cov cuab yeej tshuaj ntsuam xyuas. Lawv kuj tsim nyog siv rau hauv chav huv thiab lwm qhov chaw uas muaj cov roj vapor los ntawm lwm hom twj tso kua mis tsis tuaj yeem lees txais.
Cryopumps, ntawm qhov tod tes, yog qhov kev xaiv zoo tshaj plaws rau cov ntawv thov uas xav tau lub tshuab nqus tsev siab, xws li hauv kev tsim khoom semiconductor, kev tshawb fawb saum npoo av, thiab qhov chaw simulation chambers. Lawv kuj tau siv rau hauv cov cuab yeej tshuaj ntsuam xyuas xws li huab hwm coj spectrometers thiab electron microscopes, qhov twg tsis tshua muaj siab tom qab yog qhov tseem ceeb rau kev ntsuas kom raug.
Turbo twj feem ntau xav tau kev saib xyuas tsawg dua piv rau cryopumps. Txawm li cas los xij, lawv yuav xav tau lubrication thiab hloov tsis tu ncua ntawm cov khoom hnav xws li cov ntsaws ruaj ruaj thiab cov kabmob. Cryopumps, ntawm qhov tod tes, tsis muaj qhov hnav thiab yuav tsum tau saib xyuas tsawg, tab sis lawv yuav tsum tau rov tsim dua ib ntus kom rov qab tau lawv lub peev xwm adsorption.
Hais txog tus nqi, cov twj turbo feem ntau pheej yig dua li cryopumps. Txawm li cas los xij, tus nqi ntawm kev tswj hwm thiab kev khiav hauj lwm cov twj tso kua mis hauv lawv lub neej yuav tsum tau txiav txim siab. Cryopumps tej zaum yuav muaj kev nqis peev ntau dua, tab sis lawv cov kev xav tau qis thiab kev pab cuam lub neej ntev tuaj yeem cuam tshuam tus nqi no ntev.
Turbo twj thiab cryopumps yog ob qho tib si cov cuab yeej tseem ceeb hauv lub ntiaj teb ntawm lub tshuab nqus tsev, tab sis lawv muaj cov qauv kev ua haujlwm sib txawv, cov yam ntxwv ua tau zoo, thiab cov chaw siv. Turbo twj zoo tshaj plaws ntawm kev khiav tawm sai ntawm cov roj ntim loj, thaum lub tshuab cryopumps yog qhov zoo tagnrho rau kev ua tiav thiab tswj xyuas lub tshuab nqus tsev siab. Kev nkag siab txog qhov sib txawv no yog qhov tseem ceeb rau kev xaiv lub twj tso kua mis tsim nyog rau ib daim ntawv thov.
