Lub twj tso kua mis cryo thiab diffusion twj tso kua mis yog ob lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis uas ua haujlwm rau lub hom phiaj ntawm kev khiav tawm ntawm qhov chaw kaw los tsim lub tshuab nqus tsev. Txawm li cas los xij, txawm hais tias lawv cov kev sib koom ua haujlwm, cov twj no sib txawv hauv lawv cov qauv kev ua haujlwm, kev siv, thiab cov yam ntxwv ua haujlwm. Nyob rau hauv tsab xov xwm no, peb yuav delve rau hauv cov yam ntxwv ntawm ob lub twj tso kua mis, qhia txog lawv qhov tshwj xeeb zoo thiab cov kev txwv.
Cryo Pump
Lub twj tso kua mis cryo, tseem hu ua cryopump lossis cryopumping system, siv cov ntsiab lus ntawm cryogenic condensation thiab adsorption kom ua tiav lub tshuab nqus tsev. Nws feem ntau muaj qhov chaw txias, feem ntau txias los ntawm cov kua nitrogen lossis helium, thiab cov khoom siv sorption uas ntxiab gases.
Lub tshuab ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis cryo pib nrog cov cua txias ntawm qhov chaw txias kom txias heev. Thaum cov roj nkag mus rau hauv lub twj tso kua mis, qhov txias txias ua rau cov vapors condense ntawm qhov chaw txias. Cov khoom siv sorption, feem ntau yog cov hlau ntxeem tau lossis cov pa roj carbon activated, tom qab ntawd ntxiab cov roj seem uas tsis tuaj yeem condensed, los ntawm lub cev lossis tshuaj adsorption.
Cryo twj tso kua mis muaj txiaj ntsig zoo hauv kev tshem tawm cov dej vapor, hydrocarbons, thiab lwm yam condensable gases los ntawm lub tshuab nqus tsev chamber. Lawv feem ntau siv nyob rau hauv high-nqus daim ntaub ntawv uas yuav tsum tau ultra-huv ib puag ncig, xws li nyob rau hauv semiconductor manufacturing, soj ntsuam kuaj, thiab nto science thwmsim.
Ib qho txiaj ntsig tseem ceeb ntawm cov twj tso kua mis cryo yog lawv lub peev xwm los tswj lub tshuab nqus tsev ruaj khov nyob rau lub sijhawm ntev yam tsis tas yuav muaj kev rov tsim dua tshiab. Txawm li cas los xij, lawv tuaj yeem kim thiab xav tau cov khoom siv txuas ntxiv ntawm cov coolant, uas ntxiv rau cov nqi ua haujlwm.
Diffusion Pump
Nyob rau hauv sib piv, ib tug diffusion twj tso kua mis ua hauj lwm nyob rau hauv lub hauv paus ntsiab lus ntawm gas diffusion thiab momentum hloov. Nws feem ntau muaj lub rotating disc los yog impeller, uas tsim ib tug high-ceev dav hlau ntawm roj. Lub dav hlau no nkag mus thiab nqa cov pa tawm ntawm lub tshuab nqus tsev, tshem tawm tau zoo.
Lub impeller tig ntawm kev kub ceev, ua kom lub tshuab nqus tsev ib nrab ntawm nws qhov nkag. Thaum cov roj nkag mus rau hauv lub twj tso kua mis, lawv nqa los ntawm lub dav hlau tig mus rau qhov hluav taws xob. Tom qab ntawd cov pa roj yog compressed thiab tshem tawm ntawm lub twj tso kua mis, tsim kom muaj kev tshem tawm tsis tu ncua ntawm cov pa.
Diffusion twj yog paub txog lawv cov twj tso kua mis siab thiab muaj peev xwm tswj tau ntau yam roj av. Lawv feem ntau yog siv rau hauv cov ntawv thov kev lag luam uas xav tau nruab nrab mus rau qib siab, xws li lub tshuab nqus tsev, lub tshuab nqus tsev ua haujlwm, thiab electron beam vuam.
Ib qho txiaj ntsig tseem ceeb ntawm cov twj diffusion yog lawv cov qauv tsim yooj yim thiab tus nqi pib qis dua piv rau cov twj cryo. Txawm li cas los xij, lawv xav tau kev saib xyuas raws sij hawm, xws li kev hloov roj, thiab tej zaum yuav tsis haum rau cov ntawv thov uas yuav tsum tau ua kom huv huv lossis ultra-high lub tshuab nqus tsev.
Hauv kev sib piv ob lub twj tso kua mis, nws pom tseeb tias lawv muaj qhov zoo sib xws thiab kev siv. Cryo twj zoo tshaj plaws hauv kev tsim thiab tswj cov chaw nqus tsev vacuum ultra-siab nrog kev sib kis tsawg, ua rau lawv zoo tagnrho rau kev sim thiab cov txheej txheem. Ntawm qhov tod tes, diffusion twj tso kua mis yog qhov tsim nyog rau cov ntawv thov kev lag luam uas xav tau lub tshuab nqus tsev nruab nrab thiab tuaj yeem zam tau qee theem ntawm kev sib kis.
Nyob rau hauv cov nqe lus ntawm tus nqi, diffusion twj tso kua mis feem ntau pheej yig dua, ob qho tib si nyob rau hauv cov nqe lus ntawm kev yuav khoom thawj zaug thiab cov nqi ua haujlwm. Txawm li cas los xij, kev saib xyuas mus sij hawm ntev thiab cov dej txias ntawm cov twj tso kua mis cryo tuaj yeem ntxiv rau lawv cov nuj nqis tag nrho.
Ntxiv mus, qhov kev khiav hauj lwm kub thiab cov hom gases lawv muaj peev xwm lis kuj txawv. Cryo twj siv tau zoo ntawm kev tshem cov roj condensable ntawm qhov kub thiab txias, thaum cov twj diffusion tuaj yeem tswj tau cov roj ntau ntau tab sis yuav tsis ua haujlwm zoo ntawm kev tshem cov condensables.
Hauv cov ntsiab lus, qhov kev xaiv ntawm lub twj tso kua mis cryo thiab lub twj tso kua mis diffusion nyob ntawm qhov kev thov tshwj xeeb, qib nqus tsev xav tau, thiab kev xav txog nyiaj txiag. Ob lub twj tso kua mis muaj lawv lub zog tshwj xeeb thiab cov kev txwv, thiab kev soj ntsuam kom zoo ntawm cov ntaub ntawv siv yog tsim nyog los txiav txim siab.
Lub twj tso kua mis cryo thiab diffusion twj tso kua mis, txawm hais tias ob qho tib si ua haujlwm rau lub hom phiaj ntawm lub tshuab nqus tsev tsim, sib txawv hauv lawv cov txheej txheem kev khiav hauj lwm, kev siv, thiab cov yam ntxwv ntawm kev ua haujlwm. Cryo twj yog zoo tagnrho rau ultra-ntxuav thiab ultra-siab lub tshuab nqus tsev ib puag ncig, thaum diffusion twj yog tsim nyog rau kev lag luam daim ntaub ntawv nrog rau nruab nrab lub nqus tsev vacuum. Kev xaiv ntawm ob lub twj tso kua mis yuav tsum yog raws li kev tshuaj xyuas dav dav ntawm cov kev xav tau tshwj xeeb thiab kev txwv ntawm kev npaj siv.
